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コレット11の基端部と、ハウジング12の支持部12dとの間には、図示例ではコイルばねで構成される保持ばね15(コレット付勢手段)が設けられる。この保持ばね15は、コレット11を軸線方向先端側に付勢する。これによって、コレット11に外力が加わらない状態では、上記係止段部11dが上記コレット係止部12rに当接した状態(係止位置)に保持される。コレット11は、作動体13の上記支持面部13bに対する基準部11aの摺接構造によって、軸線10xと同軸状の位置及び姿勢が保持された状態で、軸線10xに沿った方向に移動可能に構成される。

基端部12bの軸線10xを中心とする中央部分には支持部12dが形成される。この支持部12dには、上記軸孔11xに連通する通気口12qが形成される。一方、先端部12cには、軸線10xが通過する中央部分において本体12aの内部に連通する開口部12oが設けられている。この開口部12o内には、上記コレット11の複数のフィンガー部11cと、これらのフィンガー部11cの把持面11gによって把持対象物が把持されることとなる把持空間とが配置される。また、この開口部12oの上記本体12aの内部に臨む開口内縁は、上記コレット11の係止段部11dに対して軸線方向先端側から当接するコレット係止部12rとなっている。

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前記筒体と前記軸体とを非回転時に同軸状態に保持するように前記筒体と前記軸体との間に介装された環状弾性体と、

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図5には、第4実施形態のハンドリングユニット40の縦断面図(a)及び背面図(b)を示す。この第4実施形態では、第1実施形態と同様のコレット41、ハウジング42及び作動体43を備え、第1実施形態と同様のコネクタ48を介して流体供給口42pから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第1~第3実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、作動体43の受圧部43dの軸線方向の位置を検出する近接センサなどからなる位置検出器49を備えている点で第1実施形態と異なる。この位置検出器49は、図示例では、ハウジング42の基端部から支持部42dを貫通してシリンダ構造42sの内部に配置された検出部49sを備える。なお、この位置検出器49は、コレット41のフィンガー部41cが把持状態と非把持状態のいずれにあるかを判別できる程度に、作動体43の軸線方向の位置を検出できるものであればよい。ただし、位置検出器49を、作動体43のシリンダ構造42s内の位置を詳細に検出できるセンサ機能を備えたものとすることにより、さらに詳細な状況を検知でき、後述する制御部の制御下において、さらに詳細な制御を行うことが可能になる。例えば、作動体43の非把持状態から把持状態に移行したときの軸線方向のストロークを検出することにより、複数のフィンガー部41cによって把持された把持対象物の把持寸法(把持径など)を推定することができる。

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この実施形態では、作動体63はコレット61の内部から軸線方向基端側に突出した基端部に受圧部63dが形成されるが、この受圧部63dは、先の各実施形態のような、軸線60xの通過部分に軸孔構造を備えておらず、軸線60xが通過する中心部分にも形成されている。このようにすると、外形寸法を増大させずに、受圧部63dの受圧面積を増大させることができるので、コンパクト化を図りつつ作動体63の駆動力を大きくすることができる。なお、コレット61の基準部61aを、その内側にある作動体63の外面に摺接させることにより、軸線に対して同軸状の位置及び姿勢が保持されるように構成してもよい。このとき、図示例と同様に、コレット61をハウジング62に対しては軸線方向に固定してもよく、或いは、第1実施形態と同様に、コレット61をハウジング62に対して係止位置で位置決め可能としつつ、軸線方向基端側には移動可能に構成してもよい。

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本発明において、前記ハウジングは、軸線方向先端側の内面に設けられる先端側内面部分と、該先端側内面部分に対して軸線方向基端側に内形寸法を増大させる第1の段部を介して前記シリンダ構造の内面に設けられた基端側内面部分と、を有し、前記作動体は、軸線方向の位置が前記先端側内面部分に重なる範囲の外面に設けられた先端側外面部分と、該先端側外面部分に対して軸線方向基端側に外形寸法を増大させる第2の段部を介して設けられた前記シリンダ摺接部を含む基端側外面部分と、を有し、前記第1の段部は前記第2の段部に対して軸線方向先端側に形成されることが好ましい。この場合において、前記第1の段部と前記第2の段部の間に配置され、前記作動体を軸線方向基端側へ付勢する作動体付勢手段がさらに設けられることが望ましい。前記作動体付勢手段は、前記第1の段部と前記第2の段部の間に収容された弾性復元力を与える弾性体により構成されることが望ましい。

また、本実施形態では、内周側規制ピン16及び外周側規制ピン17によって、コレット11及び作動体13がハウジング12に対して回転方向に規制されるので、複数のフィンガー部11cの把持面11gによって把持可能な把持対象物に対する把持形状を、円形断面だけでなく、角形断面や楕円断面などの任意に設定することができる。なお、ハンドリングユニット10の回転姿勢を把持対象物の姿勢に合わせることは、後述するハンドリング装置の制御部100によるユニット駆動系の制御によってなされる。

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